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MEMS多維度微動平臺是利用MEMS執(zhí)行器驅(qū)動平臺以及所載物體在多個維度上實現(xiàn)移動。伴隨各類系統(tǒng)不斷集成化， 小型化的，以及精度，可靠性等性能要求的不斷提高，MEMS微動平臺以其體積小，精度高，功耗低，速度快等優(yōu)勢 在各個領(lǐng)域中有著極為廣闊的應(yīng)用場景。

所涉及領(lǐng)域覆蓋光學(xué)成像，光學(xué)通訊，生物檢測等，并可在無人機， 視頻監(jiān)控，虛擬現(xiàn)實，增強現(xiàn)實，基因工程，5G，智能穿戴等一系 列應(yīng)用中起到關(guān)鍵作用。

微文微動平臺可以實現(xiàn)5維驅(qū)動（面內(nèi)二維+面外三維），結(jié)合電熱 與靜電兩種驅(qū)動方式，可根據(jù)具體應(yīng)用需求搭配不同執(zhí)行器，可實 現(xiàn)高精度（納米級），大位移（毫米級），低功耗，高填充率，小 尺寸，高速多維微動平臺。

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  MEMS微動平臺可驅(qū)動圖像傳感器用于光學(xué)圖像防抖， 從硬件上根本解決圖像抖動問題
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  MEMS微動平臺也可來驅(qū)動透鏡，實現(xiàn)光學(xué)變焦
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  MEMS微動平臺還可用于掃描探針顯微鏡，實現(xiàn)對樣本 的高速成像。