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微文MEMS光學(xué)探頭采用光學(xué)掃描微鏡技術(shù)，可與多種光學(xué)成像技術(shù)結(jié)合，應(yīng)用于各種狹小空間，進(jìn)行實(shí)時(shí)、快速、高分辨的三維成像。該探頭由光纖、格林透鏡、MEMS微鏡、套管和基座等元器件組成。根據(jù)不同的應(yīng)用需求，可定制為側(cè)掃、側(cè)前掃、前掃和環(huán)掃等多種掃描方式，直徑≥2.5mm。

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