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微文MEMS陣列芯片分為一維線陣和二維矩陣兩種，目前已開發(fā)的一維線陣微鏡包括1*20的WSS波長(zhǎng)選擇開關(guān)，二維微鏡矩陣包括8*8和20*20大陣列光交叉互聯(lián)（OXC)芯片，其驅(qū)動(dòng)電壓小于10V，芯片偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)±10°。