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多自由度微動(dòng)平臺(tái)
?芯片型號(hào)
芯片尺寸/mm
鏡面尺寸/mm?
機(jī)械角度/°
驅(qū)動(dòng)電壓/V
一階固有頻率/Hz
功耗/mW
響應(yīng)時(shí)間/ms
MS
1.35×1.55×0.4
0.55×0.55
±4
4
2.3~2.6k
15~16
3~5
下載