該系列芯片有共振掃描和準(zhǔn)靜態(tài)偏轉(zhuǎn)兩種工作模式,共振掃描最大可實現(xiàn)±15°機(jī)械偏轉(zhuǎn),準(zhǔn)靜態(tài)模式最大可實現(xiàn) 6.5°機(jī)械偏轉(zhuǎn)。微鏡鏡面尺寸達(dá)2.5~3mm,表面鍍鋁或金,對可見光至紅外光不同波長光源均有良好的反射率。該 系列芯片可應(yīng)用于3D人臉識別、激光雷達(dá)、醫(yī)學(xué)成像、機(jī)器視覺等領(lǐng)域。
多種尺寸芯片
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