微文MEMS微干涉模塊是利用MEMS微鏡設(shè)計(jì)的一款
邁克爾遜干涉儀,可以實(shí)現(xiàn)各種光干涉。
干涉模塊中使用的反射均采用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)加工,
驅(qū)動(dòng)微鏡的電壓低、諧振頻率高、抗沖擊力強(qiáng)、可
實(shí)現(xiàn)三維調(diào)節(jié),方便使用。
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