| 一維微鏡芯片 | ?芯片型號(hào) | 芯片尺寸/mm | 鏡面尺寸/mm? | 機(jī)械角度/° | 驅(qū)動(dòng)電壓/V | 一階固有頻率/Hz | 功耗/mW | 響應(yīng)時(shí)間/ms | |
| FI-S14 | 4.7×3.1×0.45 | 1.4×1.4 | ±15 | 35~45 | 1~2k | — | — | 下載 | |
| FI-S30 | 4×7×0.45 | 2.5×3 | ±15 | 40~45 | 400~500 | — | — | 下載 | |
| FI-S25.4 | 6×3.7×0.95 | 2×2 | ±15 | 60~120 | 1.4~1.5K | — | — | 下載 | |
| LS-T25.1 | 3×4×0.4 | ?2.5 | 3.5 | 4 | 900~1000 | 130~140 | 4~6 | 下載 | |
| LS-T25.2 | 3×4×0.4 | ?2.5 | 6.5 | 6 | 700~800 | 150~160 | 8~10 | 下載 | |
| OC-T09 | 1.9×1.9 | 0.9 | 0.5 | 6 | 2000 | — | ＜2ms | 下載 |