| 二維微鏡芯片 | ?芯片型號(hào) | 芯片尺寸/mm | 鏡面尺寸/mm? | 機(jī)械角度/° | 驅(qū)動(dòng)電壓/V | 一階固有頻率/Hz | 功耗/mW | 響應(yīng)時(shí)間/ms | |
| LS-T30.1 | 4×4×0.4 | ?3 | ±1.3 | 4 | 500~600 | 20~25 | 3~6 | 下載 | |
| LS-T30.2 | 4×4×0.4 | ?3 | ±1.3 | 4 | 500~600 | 60~70 | 4~8 | 下載 | |
| LS-T20.1 | 3×4×0.4 | ?2 | ±2 | 4 | 400~500 | 20~25 | 3~6 | 下載 | |
| OC-MI-T10 | 2.1×2.1×0.5 | ?1 | ±4 | 4 | 600~800 | 17~18 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.1 | 1.35×1.55×0.4 | 0.55×0.55 | ±4 | 4 | 1.5~1.8K | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.2 | 1.3×1.5×0.4 | 0.55×0.55 | ±6 | 5 | 1.3~1.6k | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.3 | 1.3×1.5×0.4 | 0.52×0.52 | ±4.5? | 4 | 1.3~1.6k | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T03 | 1.1×1.5×0.4 | 0.35×0.35 | ±6 | 4 | 1.9~2.1k | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.4 | 1.3×1.5×0.4 | 0.55×0.55 | ±3.8 | 4 | 1.5~1.8K | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.5 | 1.35×1.55×0.4 | 0.55×0.55 | ±4 | 4 | 1.5~1.8K | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.6 | 1.35×1.55×0.4 | 0.5×0.5 | ±4.5 | 4 | 1.3~1.6k | 15~16 | 3~5 | 下載 | |
| MI-T05.7 | 1.35×1.55×0.4 | 0.55×0.55 | ±4 | 4 | 1.5~1.8K | 15~16 | 3~5 | 下載 |