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垂直大位移微鏡芯片	?芯片型號(hào)	芯片尺寸/mm	鏡面尺寸/mm?	機(jī)械角度/°	驅(qū)動(dòng)電壓/V	一階固有頻率/Hz	功耗/mW	響應(yīng)時(shí)間/ms
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